CIIF: 중국 극자외선 광원 시제품 국산화율 90%. 양산까지는 3-5년 추가 필요
• 이번에 전시된 광원 시스템 국산화율 90%. 대부분 핵심 부품은 자체 개발 & 기술 노선은 국제 선두 제조업체와 일치. 칩 노광 테스트 사용 가능
• 양산까지는 3-5년 추가 소요. 다만 이 돌파구는 국산 EUV 광원이 실험실에서 산업화로 나아가는 중요한 발걸음
上观：中国极紫外光源样机国产化率达90%，目前距离量产还需3—5年
本次展出的光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。尽管目前距离量产还需3—5年，但这一突破已迈出了国产EUV光源从实验室走向产业化的关键一步。
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